වට්ස්ඇප් 
| ආදර්ශ පරාමිතිය | කාර්මික ප්ලාස්මා කැපුම් යන්ත්රය | |||
| ආකෘතිය | ඩීඩබ්ලිව්-2040 | ඩීඩබ්ලිව්-2060 | ඩීඩබ්ලිව්-3060 | ඩීඩබ්ලිව් -4060 |
| වැඩ කරන ප්රමාණය | 2000*4000මි.මී. | 2000*6000මි.මී. | 3000*6000මි.මී. | 4000*6000මි.මී. |
| Y රේල් | Y ප්රමාණය මීටර් 13ක් විය හැකියි | |||
| ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය | ±0.05 මි.මී. | |||
| ක්රියාවලි නිරවද්යතාවය | ±0.35 මි.මී. | |||
| සම්ප්රේෂණ පද්ධතිය | X,Y තායිවාන් හිවින් අධි-නිරවද්යතාවය, ශුන්ය නිෂ්කාශනය වැඩි කළ රේඛීය මාර්ගෝපදේශය+ රාක්කයZ චාප වෝල්ටීයතා පාලනය | |||
| උපරිම කැපුම් වේගය | 15000 මි.මී./මිනි. | |||
| වැඩ කරන වෝල්ටීයතාවය | AC380V/60HZ හඳුන්වා දීම | |||
| පාලන පද්ධතිය | බීජිං START / STARFIRE ප්ලාස්මා කැපුම් පද්ධතියසම්මත අධි සංවේදීතා චාප වෝල්ටීයතා උපාංගය | |||
| මෘදුකාංග සහාය | FASTCAM, ඔටෝකැඩ්, | |||
| උපදෙස් ආකෘතිය | G කේතය | |||
| ධාවක පද්ධතිය | ස්ටෙපර් මෝටරය (විකල්ප තායිවාන AC සර්වෝ මෝටරය) | |||
| ප්ලාස්මා බලය | චයිනා MUSK 200-400AI ආනයනය කරන ලද US Powermax 60A-200A | |||
| බලය කැපීමේ හැකියාව | 0.5-60 මි.මී | |||
| වැඩ පීඩනය | 0.65-0.7Mpa (එම්පීඒ) | |||
